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J-GLOBAL ID：200902111453344256   整理番号：00A0758878

イオン化支援法によるポリマー薄膜の蒸着

Organic Molecular Electronics for the 21st Century. Deposition of Polymeric Thin Films by Ionization-Assisted Method.

著者 (1件)： USUI H (Tokyo Univ. Agriaulture and Technol., Koganei-shi, JPN)
資料名： IEICE Transactions on Electronics (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers)  (IEICE Transactions on Electronics (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： E83-C  号： 7  ページ： 1128-1133  発行年： 2000年07月25日 
JST資料番号： L1370A  ISSN： 0916-8524  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ポリマー薄膜をいくつかの物理的蒸着法で作成した。これらは,ポ...

シソーラス用語： *高分子薄膜 ,...

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分類 (2件)： 有機化合物の薄膜  (BK14070L) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (12件)：

• TAKAGI, T. Physics of thin films. 1987, 13
• TAKAGI, T. Role of ions in ion-based film formation. Thin Solid Films. 1982, 92, 1-17
• USUI, H. Anthracene and polyethylene thin films deposited by ionized cluster beam. J. Vac. Sci. Technol. A. 1986, 4, 1, 52-59
• USUI, H. Effect of substrate temperature on the deposition of polytetrafluoroethylene by an ionization-assisted evaporation method. J. Vac. Sci. Technol. A. 1995, 13, 5, 2318-2324
• TAKAHASHI, Y. Synthesis of aromatic polyimide film by vacuum deposition polymerization. J. Vac. Sci. Technol. A. 1987, 5, 4, 2253-2256

タイトルに関連する用語 (4件)： イオン化 ,  支援 ,  ポリマー薄膜 ,  蒸着