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J-GLOBAL ID:200902111651236795   整理番号:94A0156096

機械加工した表面の粗さを可視および赤外域でのスペックル法で測定する手法

Roughness measurement of machined surfaces by means of the speckle technique in the visible and infrared regions.
著者 (1件):
資料名:
巻: 32  号: 12  ページ: 3327-3332  発行年: 1993年12月 
JST資料番号: B0577B  ISSN: 0091-3286  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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標題の手法の利点は,非接触法でプロセス中の環境下で適応可能な...
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光学的測定とその装置一般 
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