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J-GLOBAL ID:200902111732924912   整理番号:99A1023323

プラズマ支援分子ビームエピタクシーにより成長させたAlGaN/GaNヘテロ構造の分極誘起電荷及び電子移動度

Polarization-induced charge and electron mobility in AlGaN/GaN heterostructures grown by plasma-assisted molecular-beam epitaxy.
著者 (9件):
資料名:
巻: 86  号:ページ: 4520-4526  発行年: 1999年10月15日 
JST資料番号: C0266A  ISSN: 0021-8979  CODEN: JAPIAU  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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高周波プラズマ支援MBE法により成長させたAl<sub>x<...
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分類 (2件):
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13-15族化合物を含む半導体-半導体接合  ,  固体プラズマ 

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