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J-GLOBAL ID：200902111860816278   整理番号：95A0793724

An XY Scan Engine with Microradian Accuracy.

著者 (3件)： MONTAGU J (General Scanning, Inc., Mass.) ,  DEWEERD H (General Scanning, Inc., Mass.) ,  HONKANEN P (General Scanning, Inc., Mass.)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 2383  ページ： 449-459  発行年： 1995年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)