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J-GLOBAL ID：200902112201121358   整理番号：98A0683201

TOF-SIMSによりポリメタクリル酸メチル(PMMA)表面から得られた二次イオン強度の解析

Investigation of the Secondary Ion Intensity from Poly(methyl methacrylate)(PMMA) Surface by TOF-SIMS.

著者 (6件)： 長沼康弘 (神奈川県産業技総研) ,  曽我雅康 (神奈川県産業技総研) ,  星孝弘 (アルバック・ファイ) ,  遠藤一央 (金沢大 理) ,  一戸裕司 (成けい大 工) ,  工藤正博 (成けい大 工)
資料名： 表面科学  (JSSSJ)
巻： 19  号： 7  ページ： 469-474  発行年： 1998年07月 
JST資料番号： F0940B  ISSN： 0388-5321  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： PMMAのイオン衝撃による二次イオンの強度変化をTOF-SI...

シソーラス用語： *ポリメタクリル酸メチル ,...

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分類 (2件)： イオン放出  (BM09070V) ,  有機化合物の物理分析  (CC03034A)

引用文献 (23件)：

• BRIGGS, D. Surf. Interface Anal. 1982, 4, 109
• BRIGGS, D. Surf. Interface Anal. 1982, 4, 151
• BRIGGS, D. Vacuum. 1986, 36, 1005
• LEGGETT, G. J. Appl. Surf. Sci. 1992, 55, 105
• DELCORTE, A. Nucl. Instrum. Methods. Phys. Res., B. 1995, 100, 213

タイトルに関連する用語 (5件)： TOF-SIMS ,  ポリメタクリル酸メチル ,  PMMA ,  イオン強度 ,  解析