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J-GLOBAL ID：200902112241440545   整理番号：93A0744628

Microwave nitridation of silicon compacts utilizing a temperature gradient.

著者 (3件)： THOMAS J J (Northwestern Univ., IL) ,  JENNINGS H M (Northwestern Univ., IL) ,  JOHNSON D L (Northwestern Univ., IL)
資料名： Silicon Nitride Ceramics  (Silicon Nitride Ceramics)
ページ： 277-282  発行年： 1993年 
JST資料番号： K19930449  ISBN： 1-55899-182-4  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (1件)： Gradient