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J-GLOBAL ID：200902112453252307   整理番号：99A0719125

複合型表層改質技術の研究 (科学技術庁科学技術振興局S)

Research on the combined technology of reforming surface layers. (Science and Technology Promotion Bureau in Science and Technology Agency S).

著者 (1件)： 馬場恒明 (長崎県工技セ)
資料名： 環境に適合した材料の創出のための複合型表層改質技術開発に関する基礎研究成果報告書 平成10年度 科学技術振興調整費地域先導研究
ページ： 78-92  発行年： 1999年 
JST資料番号： N19991761  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 1)配管内でECR放電によるプラズマを発生させ,軸方向に走査...

シソーラス用語： *イオン注入 ,...

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分類 (4件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V) ,  その他の物質の放射線による構造と物性の変化  (BK16124V) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

物質索引 (5件)： メタン ,  アセチレン ,  トルエン ,  フルオロベンゼン ,  ヘキサフルオロベンゼン

タイトルに関連する用語 (5件)： 複合型 ,  表層 ,  改質 ,  研究 ,  科学技術庁