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J-GLOBAL ID:200902112453252307   整理番号:99A0719125

複合型表層改質技術の研究 (科学技術庁科学技術振興局S)

Research on the combined technology of reforming surface layers. (Science and Technology Promotion Bureau in Science and Technology Agency S).
著者 (1件):
資料名:
ページ: 78-92  発行年: 1999年 
JST資料番号: N19991761  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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1)配管内でECR放電によるプラズマを発生させ,軸方向に走査...
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分類 (4件):
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炭素とその化合物  ,  セラミック・陶磁器の製造  ,  その他の物質の放射線による構造と物性の変化  ,  その他の無機化合物の薄膜 
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