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J-GLOBAL ID：200902112470475956   整理番号：00A0976901

テクノロジーアライアンス半導体計測 全自動超薄膜計測システムUT-300 Part3 多層膜解析の実例

Technology Alliance on the Semiconductor Measurement. Full Automatic Spectroscopic Ellipsometer UT-300. Example of the Multilayer Analysis.

著者 (4件)： 平川誠一 (愛宕物産) ,  GABAIN N N (愛宕物産) ,  和才容子 (愛宕物産) ,  飯田裕 (愛宕物産)
資料名： Readout  (Readout)
号： 21  ページ： 26-30  発行年： 2000年09月20日 
JST資料番号： L0745A  ISSN： 0915-9916  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 全自動分光エリプソメータUT-300は,生産ライン向けに特化...

シソーラス用語： *偏光解析法 ,...

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分類 (2件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G) ,  偏光測定と偏光計  (BD07050K)

タイトルに関連する用語 (7件)： テクノロジー ,  アライアンス ,  計測 ,  超薄膜 ,  計測システム ,  多層膜 ,  解析