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J-GLOBAL ID：200902112631235080   整理番号：95A0133482

電子ビーム蒸着で成長させた物質の特性評価と応用

Characterization and Application of Materials Grown by Electron-Beam-Induced Deposition.

著者 (6件)： KOOPS H W P (Telekom Forschungszentrum, Darmstadt, DEU) ,  KRETZ J (Technischen Hochschule Darmstadt, Darmstadt, DEU) ,  RUDOLPH M (Technischen Hochschule Darmstadt, Darmstadt, DEU) ,  WEBER M (Technischen Hochschule Darmstadt, Darmstadt, DEU) ,  DAHM G (Telekom Forschungszentrum, Darmstadt, DEU) ,  LEE K L (IBM Research Division, NY, USA)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 33  号： 12B  ページ： 7099-7107  発行年： 1994年12月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 電子ビーム蒸着とリソグラフィーによるnm~μmサイズの構造を...

シソーラス用語： 電子ビーム蒸着 ,...

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分類 (2件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 電子ビーム蒸着 ,  成長 ,  物質 ,  特性評価 ,  応用