中性ループ放電プラズマを形成するための最適条件

SUNG Y M; UCHINO K; MURAOKA K; SAKODA T

文献

J-GLOBAL ID：200902112791324828 整理番号：00A0906764

中性ループ放電プラズマを形成するための最適条件

Studies on the optimum condition for the formation of a neutral loop discharge plasma.

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資料名：
巻： 18 号： 5 ページ： 2149-2152 発行年： 2000年09月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

磁気中性ループ放電による新しいプラズマ源の設計及び動作指針を...

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プラズマ装置

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