多成分系ガラス膜の組成へのスパッタリングガス種による影響  多成分系ガラス膜の組成を制御する新しい試み

AKAI T; YAMANAKA H

文献

J-GLOBAL ID：200902112808734278 整理番号：02A0637168

多成分系ガラス膜の組成へのスパッタリングガス種による影響多成分系ガラス膜の組成を制御する新しい試み

Effect of the species of sputtering gas on the composition of multi-component glass film: A new approach to control the composition of multi-component glass film.

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巻： 21 号： 10 ページ： 765-766 発行年： 2002年05月15日
JST資料番号： D0919B ISSN： 0261-8028 CODEN： JMTSAS 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

20K₂O・10BaO・70SiO<s...

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非金属材料へのセラミック被覆 , 酸化物薄膜

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多成分系ガラス膜の組成へのスパッタリングガス種による影響 多成分系ガラス膜の組成を制御する新しい試み

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