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J-GLOBAL ID：200902112851417855   整理番号：96A0529988

デュアルサーボ式STMの開発

Development of Dual Servo STM.

著者 (3件)： 中村明信 (東京電力) ,  三井公之 (慶応大 理工) ,  後藤崇之 (三菱重工業 基盤技研)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 62  号： 6  ページ： 850-854  発行年： 1996年06月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 触針を変位15μmのPZT微動機構に付け,更にこれを粗動機構...

シソーラス用語： 走査型トンネル顕微鏡 ,...
準シソーラス用語： PZT【鉛化合物】

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分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

引用文献 (8件)：

• 小沢則光. 非接触光学式微細形状測定ヘッド(HIPOSS-1)-超精密測定技術の研究. 精密工学会誌. 1986, 52,12, 2080
• 三井公之. 高感度非接触粗さ計の開発. 精密工学会誌. 1987, 53,2, 328
• BINNING, G. Surface Studies by Scanning Tunneling Microscopy. Phys. Rev. Lett. 1982, 49,1, 57
• 林正和. 表面粗さSTM. 精密工学会誌. 1990, 56,5, 873
• 単学伝. ミリスケールSTMの開発. 日本機械学会論文集(C編). 1992, 58,546, 425

タイトルに関連する用語 (3件)： デュアル ,  STM ,  開発