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J-GLOBAL ID：200902113233831051   整理番号：01A0165301

InAlNのMOVPE成長の熱力学的解析

Thermodynamic Analysis of the MOVPE Growth of InAlN.
著者 (3件)：
KOUKITU A

KOUKITU A について

(Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN)

Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN について

, 
KUMAGAI Y

KUMAGAI Y について

(Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN)

Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN について

, 
SEKI H

SEKI H について

(Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN)

Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN について


資料名：
Physica Status Solidi. A. Applied Research  (Physica Status Solidi. A. Applied Research)

Physica Status Solidi. A. Applied Research について


巻： 180  号： 1  ページ： 115-120  発行年： 2000年07月16日 
JST資料番号： D0774A  ISSN： 0031-8965  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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平衡分圧,蒸着の気相-固相分布関係と相図を計算した。InAl...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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窒化物

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シソーラス用語/準シソーラス用語
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相関係

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分類 (1件)：
分類
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半導体薄膜 
(BK14040E)

半導体薄膜 について

タイトルに関連する用語 (4件)：
タイトルに関連する用語
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InAlN

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MOVPE

MOVPE について

, 
成長

成長 について

, 
力学的解析

力学的解析 について


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