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J-GLOBAL ID：200902113453763308   整理番号：02A0542055

Brillouin光散乱と表面音波分光法で明らかにされたナノ多孔質低誘電率膜の臨界特性

Critical properties of nanoporous low dielectric constant films revealed by Brillouin light scattering and surface acoustic wave spectroscopy.

著者 (5件)： FLANNERY C M (FG Nanoakustik, Berlin, DEU) ,  WITTKOWSKI T (Univ. Kaiserslautern, Kaiserslautern, DEU) ,  JUNG K (Univ. Kaiserslautern, Kaiserslautern, DEU) ,  HILLEBRANDS B (Univ. Kaiserslautern, Kaiserslautern, DEU) ,  BAKLANOV M R (XPEQT at IMEC, Leuven, BEL)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 80  号： 24  ページ： 4594-4596  発行年： 2002年06月17日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 標記の二つの独立な測定法を用いて低誘電率の誘電体としてのナノ...

シソーラス用語： Brillouin散乱 ,...
準シソーラス用語： 間隙率

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分類 (2件)： 有機化合物の薄膜  (BK14070L) ,  高分子固体の構造と形態学  (CG02022M)

タイトルに関連する用語 (6件)： 光散乱 ,  表面音波 ,  分光法 ,  ナノ多孔質 ,  低誘電率膜 ,  臨界