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J-GLOBAL ID：200902113462549548   整理番号：95A0899300

スパッター先鋭化によるタングステン電界エミッタチップの断頭

Decapitation of tungsten field emitter tips during sputter sharpening.

著者 (5件)： SCHILLER C (Philips Res. Lab., Eindhoven, NLD) ,  KOOMANS A A (Philips Res. Lab., Eindhoven, NLD) ,  VAN ROOY T L (Philips Res. Lab., Eindhoven, NLD) ,  SCHOENENBERGER C (Philips Res. Lab., Eindhoven, NLD) ,  ELSWIJK H B (Philips Res. Lab., Eindhoven, NLD)
資料名： Surface Science  (Surface Science)
巻： 339  号： 3  ページ： L925-L930  発行年： 1995年10月01日 
JST資料番号： C0129B  ISSN： 0039-6028  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ネオンイオンのスパッタリングによるタングステンチップの先鋭化...

シソーラス用語： タングステン ,...

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分類 (1件)： 熱電子放出,電界放出  (BM09020S)

タイトルに関連する用語 (5件)： スパッター ,  先鋭化 ,  タングステン ,  電界エミッタ ,  断頭