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J-GLOBAL ID：200902113599258389   整理番号：00A0562664

マクロ/マイクロキャビティ法とその化学蒸着反応系のモデリングへの応用

Macro/microcavity method and its application in modeling chemical vapor deposition reaction systems.

著者 (3件)： HONG L-S (National Taiwan Univ. Sci. and Technol., Taipei, TWN) ,  SHIMOGAKI Y (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  KOMJYAMA H (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 365  号： 2  ページ： 176-188  発行年： 2000年04月17日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： CVD過程のモデリングへの実験マクロ/マイクロキャビティ(M...

シソーラス用語： *化学蒸着 ,...

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分類 (1件)： 薄膜一般  (BK14010X)

タイトルに関連する用語 (5件)： マイクロキャビティ ,  化学蒸着 ,  反応系 ,  モデリング ,  応用