文献
J-GLOBAL ID：200902113636289869   整理番号：98A0789500

真空シールされたシリコンのマイクロマシン加工圧力センサ

Vacuum-Sealed Silicon Micromachined Pressure Sensors.
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著者 (5件)：
ESASHI M

ESASHI M について

(Tohoku Univ., Sendai, JPN)

Tohoku Univ., Sendai, JPN について

, 
SUGIYAMA S

SUGIYAMA S について

(Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN)

Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN について

, 
IKEDA K

IKEDA K について

(Yokogawa Electric Corp., Nagano, JPN)

Yokogawa Electric Corp., Nagano, JPN について

, 
WANG Y

WANG Y について

(Zhejian Univ., Hangzhou, CHN)

Zhejian Univ., Hangzhou, CHN について

, 
MIYASHITA H

MIYASHITA H について

(Anelva Corp., Yamanashi, JPN)

Anelva Corp., Yamanashi, JPN について


資料名：
Proceedings of the IEEE  (Proceedings of the IEEE)

Proceedings of the IEEE について


巻： 86  号： 8  ページ： 1627-1639  発行年： 1998年08月 
JST資料番号： D0378A  ISSN： 0018-9219  CODEN： IEEPAD  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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標記に関し,容量性真空センサ,マイクロダイアフラム圧力センサ...
シソーラス用語：
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*マイクロマシニング

マイクロマシニング について

,...
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分類 (2件)：
分類
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固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

固体デバイス製造技術一般 について

,  力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器 
(AD05050V)

力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器 について

タイトルに関連する用語 (4件)：
タイトルに関連する用語
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真空シール

真空シール について

, 
シリコン

シリコン について

, 
マイクロマシン加工

マイクロマシン加工 について

, 
圧力センサ

圧力センサ について


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