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J-GLOBAL ID：200902114033239103   整理番号：97A0357689

Si(100)2×1上でのアルキルシランの表面化学

Surface chemistry of alkylsilanes on Si(100)2×1.

著者 (4件)： FOSTER M (Univ. Texas at Austin, TX, USA) ,  DARLINGTON B (Univ. Texas at Austin, TX, USA) ,  SCHARFF J (Univ. Texas at Austin, TX, USA) ,  CAMPION A (Univ. Texas at Austin, TX, USA)
資料名： Surface Science  (Surface Science)
巻： 375  号： 1  ページ： 35-44  発行年： 1997年03月20日 
JST資料番号： C0129B  ISSN： 0039-6028  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Si(100)2×1再構成表面上でのアルキルシランの吸着と熱...

シソーラス用語： ケイ素 ,...
準シソーラス用語： TDS【スペクトル】 ,...

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分類 (2件)： 物理的手法を用いた吸着の研究  (CB12043P) ,  半導体の結晶成長  (BK13040X)

物質索引 (6件)： エチルシラン ,  ジエチルシラン ,  トリエチルシラン ,  テトラエチルシラン ,  ジメチルシラン ,  ジイソブチルシラン

タイトルに関連する用語 (2件)： Si ,  表面化学