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J-GLOBAL ID:200902114190122481   整理番号:94A0040128

SiH4のレーザ誘起プラズマによるナノメータ径のけい素微粒子の生成

Formation of Nanometer-Size Silicon Particles in a Laser Induced Plasma in SiH4.
著者 (3件):
資料名:
巻: 97  号: 11  ページ: 1493-1496  発行年: 1993年11月 
JST資料番号: E0432A  ISSN: 0005-9021  CODEN: BBPCAX  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: ドイツ (DEU)  言語: 英語 (EN)
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分類 (1件):
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コロイド化学一般 
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