SiH<sub>4</sub>のレーザ誘起プラズマによるナノメータ径のけい素微粒子の生成

FOJTIK A; GIERSIG M; HENGLEIN A

文献

J-GLOBAL ID：200902114190122481 整理番号：94A0040128

SiH₄のレーザ誘起プラズマによるナノメータ径のけい素微粒子の生成

Formation of Nanometer-Size Silicon Particles in a Laser Induced Plasma in SiH₄.

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巻： 97 号： 11 ページ： 1493-1496 発行年： 1993年11月
JST資料番号： E0432A ISSN： 0005-9021 CODEN： BBPCAX 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：ドイツ (DEU) 言語：英語 (EN)

ルビーレーザ光のパルス照射プラズマによるAr-SiH<sub...

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コロイド化学一般

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SiH4のレーザ誘起プラズマによるナノメータ径のけい素微粒子の生成

SiH₄のレーザ誘起プラズマによるナノメータ径のけい素微粒子の生成