吸着誘起表面応力とそれが微小片持梁の共鳴振動数に及ぼす影響

CHEN G Y; THUNDAT T; WACHTER E A; WARMACK R J

文献

J-GLOBAL ID：200902114485665037 整理番号：95A0470063

吸着誘起表面応力とそれが微小片持梁の共鳴振動数に及ぼす影響

Adsorption-induced surface stress and its effects on resonance frequency of microcantilevers.

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巻： 77 号： 8 ページ： 3618-3622 発行年： 1995年04月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

表面への化学種の吸着による質量荷重とばね定数の変化が結合して...

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振動の励起・発生・測定 , 分析機器

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