窒化チタン膜中のアルミニウムの拡散 TiN障壁層の効率

GRIGOROV G I; GRIGOROV K G; STOYANOVA M; VIGNES J L; LANGERON J P; DENJEAN P

文献

J-GLOBAL ID：200902114702671903 整理番号：93A0813465

窒化チタン膜中のアルミニウムの拡散 TiN障壁層の効率

Aluminium Diffusion in Titanium Nitride Films. Efficiency of TiN Barrier Layers.

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Applied Physics. A. Materials Science & Processing (Applied Physics. A. Materials Science & Processing)

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巻： 57 号： 2 ページ： 195-197 発行年： 1993年08月
JST資料番号： D0256C ISSN： 0947-8396 CODEN： APHYCC 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：ドイツ (DEU) 言語：英語 (EN)

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