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J-GLOBAL ID：200902114803886501   整理番号：96A0149722

熱酸化後のβ-FeSi₂/Siヘテロ接合の電気的評価

Electrical characterization of the β-FeSi₂/Si heterojunction after thermal oxidation.

著者 (2件)： ERLESAND U (Kungliga Tekniska Hoegskolan, Kista-Stockholm, SWE) ,  OESTLING M (Kungliga Tekniska Hoegskolan, Kista-Stockholm, SWE)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 68  号： 1  ページ： 105-107  発行年： 1996年01月01日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 標記ヘテロ接合の輸送特性へのオキダント雰囲気の影響を研究した...

シソーラス用語： ケイ素 ,...

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分類 (2件)： 13-15族化合物を含まない半導体-半導体接合  (BM03083P) ,  半導体の格子欠陥  (BK12040Q)

タイトルに関連する用語 (4件)： 熱酸化 ,  Si ,  ヘテロ接合 ,  評価