多結晶シリコンの電子物性~Pd原子の粒界偏析

文献

J-GLOBAL ID：200902114902861740 整理番号：93A0664096

Electrical Properties in Polycrystalline Si: Grainboundary Segregation of Pd.

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資料名：
巻： 40th 号： Pt 2 ページ： 649 発行年： 1993年03月
JST資料番号： Y0054A 資料種別：会議録 (C)
発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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