文献

J-GLOBAL ID：200902114952531414   整理番号：93A0648908

溶解速度を用いた定在波効果の解析 露光条件による影響

Analysis of Standing Wave Effect using Dissolution Rate. Influence of Exposure Conditions.

著者 (4件)： 松岡晃次 (松下電器産業 半導体研セ) ,  山下一博 (松下電器産業 半導体研セ) ,  笹子勝 (松下電器産業 半導体研セ) ,  野村登 (松下電器産業 半導体研セ)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 40th  号： Pt 2  ページ： 561  発行年： 1993年03月 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (5件)： 溶解速度 ,  定在波 ,  解析 ,  露 ,  光条件