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J-GLOBAL ID：200902115035183586   整理番号：99A0974455

誘電体バリア放電エキシマランプを用いた酸化物薄膜の作成

著者 (9件)： 野村涼 (宮崎大 工) ,  西浩太 (宮崎大 工) ,  前薗好成 (宮崎大 工) ,  河崎泰宏 (宮崎大 工) ,  宮野淳一 (宮崎マシンデザイン) ,  横谷篤至 (宮崎大 工) ,  黒沢宏 (宮崎大 工) ,  松野博光 (ウシオ電機) ,  五十嵐龍至 (ウシオ電機)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 60th  号： 2  ページ： 519  発行年： 1999年09月01日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (3件)： 誘電体バリア放電 ,  エキシマランプ ,  酸化物薄膜