文献

J-GLOBAL ID：200902115272653805   整理番号：02A0680760

偏光解析法を用いたAgスパッタ薄膜の初期成長過程の考察

The Consideration on The Initial Growth Stage of Sputtered Ag Thin Films Observed by Ellipsometry.

著者 (3件)： 清水英彦 (新潟大) ,  星陽一 (東京工芸大) ,  川畑州一 (東京工芸大)
資料名： 電気学会論文誌 A  (IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials)
巻： 122-A  号： 8  ページ： 755-760  発行年： 2002年08月01日 
JST資料番号： S0808A  ISSN： 0385-4205  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： スパッタ法におけるAg薄膜の初期成長を検討するために,10<...

シソーラス用語： *島状構造 ,...
準シソーラス用語： 磁性人工格子

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分類 (1件)： 磁性材料  (NA04040H)

引用文献 (11件)：

• TAKAHASHI, M. The Ultra Clean Sputtering Process and High Density Magnetic Recording Media. IEEE Trans. on Magn. 1997, 33, 5, 2938-2943
• TAKAHASHI, M. Magnetic Microstructure and Media Noise of Thin Film Media Fabricated under Ultra Clean Sputtering. J. Mag. Soc. Jpn. 1997, 21, S2, 499-504
• 角田匡清. 極清浄雰囲気中で作製した Ag-Co 薄膜の構造と GMR 効果(Cu-Co薄膜との比較). 日本応用磁気学会誌. 1999, 23, 4-2, 1341-1344
• 小池邦博. イオンビームスパッタ法による Co-Cr/Ag/Cr/Glass 薄膜の磁気特性. 日本応用磁気学会誌. 1997, 21, 4-2, 481-484
• 大場正志. Co/X/Gd/X 人工格子 (X=Cu, Ag, Au, Pt, YおよびW) の間接交換結合と磁化過程. 日本応用磁気学会誌. 1997, 21, 4-2, 537-540

タイトルに関連する用語 (6件)： 偏光解析法 ,  Ag ,  スパッタ ,  薄膜 ,  初期 ,  成長過程