非晶質シリコン合金の構造に及ぼす水素希釈の効果

TSU D V; CHAO B S; OVSHINSKY S R; GUHA S; YANG J

文献

J-GLOBAL ID：200902115328035557 整理番号：97A0902404

非晶質シリコン合金の構造に及ぼす水素希釈の効果

Effect of hydrogen dilution on the structure of amorphous silicon alloys.

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資料名：
巻： 71 号： 10 ページ： 1317-1319 発行年： 1997年09月08日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

プロセスガスを高水素希釈すると,非晶質シリコン(a-Si)合...

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半導体薄膜 , 太陽電池 , 非晶質半導体の構造

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