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文献
J-GLOBAL ID:200902115837313604   整理番号:00A0560235

マイクロプラズマ 基礎から応用まで 7 マイクロプラズマによる細管内面コーティング

Microplasmas. Overview from Fundamental Researches to Applications. 7. Inside Coating of Narrow Tubes Using Microplasmas.
著者 (1件):
資料名:
巻: 76  号:ページ: 465-470  発行年: 2000年05月25日 
JST資料番号: G0114A  ISSN: 0918-7928  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 文献レビュー  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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金属管の内側表面のセラミックコーティングと,誘電体管の内側表...
シソーラス用語:
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分類 (2件):
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
気相めっき  ,  薄膜成長技術・装置 
タイトルに関連する用語 (5件):
タイトルに関連する用語
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