高周波マグネトロンスパッタ堆積したすず酸亜鉛,Zn<sub>2</sub>SnO<sub>4</sub>,薄膜の成長と特性評価

YOUNG D L; MOUTINHO H; YAN Y; COUTTS T J

文献

J-GLOBAL ID：200902116413373409 整理番号：02A0614329

高周波マグネトロンスパッタ堆積したすず酸亜鉛,Zn₂SnO₄,薄膜の成長と特性評価

Growth and characterization of radio frequency magnetron sputter-deposited zinc stannate, Zn₂SnO₄, thin films.

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資料名：
巻： 92 号： 1 ページ： 310-319 発行年： 2002年07月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

ガラス基板に堆積した標記薄膜の構造,光学および輸送特性を評価...

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酸化物薄膜

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高周波マグネトロンスパッタ堆積したすず酸亜鉛,Zn2SnO4,薄膜の成長と特性評価

高周波マグネトロンスパッタ堆積したすず酸亜鉛,Zn₂SnO₄,薄膜の成長と特性評価