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J-GLOBAL ID:200902116891819234   整理番号:01A0054978

金属グレーティングの弾性波励振特性に対する質量負荷効果の解析 BGSW基板の場合

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資料名:
巻: 14th  ページ: 247-248  発行年: 1993年12月 
JST資料番号: L1419A  ISSN: 1348-8236  資料種別: 会議録 (C)
発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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