高密度基板作製用のレーザバイアホール形成技術

文献

J-GLOBAL ID：200902117111682107 整理番号：01A0963484

Investigation of laser via formation technology for the manufacturing of high density substrates.

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資料名：
巻： 36 号： 4 ページ： 355-371 発行年： 2001年10月
JST資料番号： A0602B ISSN： 0143-8166 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

微小バイアホールの形成は高密度プリント基板作製に重要な工程で...

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固体デバイス材料 , レーザの応用

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