シリコン基板干渉フィルタの熱光学的スイッチング

AUGUSTINE B H; FENG S T; IRENE E A; RAY M A

文献

J-GLOBAL ID：200902117228393815 整理番号：94A0267989

シリコン基板干渉フィルタの熱光学的スイッチング

Thermal-optical switching of a silicon based interference filter.

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巻： 75 号： 4 ページ： 1875-1878 発行年： 1994年02月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

プラズマエンハンス化学蒸着法でシリコン基板干渉フィルタを作製...

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光デバイス一般 , その他の光学的効果

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