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J-GLOBAL ID：200902117293607300   整理番号：94A0595167

マイクロマシニングによる超音波顕微鏡用シリコン音響レンズの開発 第2報,室温観察用1GHzレンズの開発

Development of Silicon Acoustic Lens for SAM by Micromachining. 2nd Report, Development of 1GHz Lens for Use at Room Temperature.

著者 (5件)： 橋本久儀 (日立建機 技研) ,  田中伸司 (日立 機械技研) ,  佐藤一雄 (日立 機械技研) ,  石川潔 (日立建機) ,  中鉢憲賢 (東北大 工)
資料名： 日本機械学会論文集 C編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series C)
巻： 60  号： 574  ページ： 2164-2170  発行年： 1994年06月 
JST資料番号： F0045B  ISSN： 0387-5024  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 単結晶シリコンを素材とし,室温で観察できる曲率半径55μm,...

シソーラス用語： 超音波 ,...
準シソーラス用語： 工作精度

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分類 (2件)： 音響光学効果  (BM08030W) ,  光学器械要素とその材料  (QF05020K)

引用文献 (8件)：

• (1)中鉢,応用物理,47-4(1978), 356.
• (2)Quate, C. F., Atalar, A. and Wickramasinghe, H. K., Proc. IEEE, 67-8(1979), 1092.
• (3)久保田,応用光学,(1959), 142, 岩波全書.
• (4)Hashimoto, H., Tanaka, S. and Sato, K., Tech. Digest of TRANSDUCERS'91, (1991), 853, San Francisco.
• (5)Hashimoto, H.,ほか5名, Jpn, J. Appl. Phys., Vol. 32(1993), 2543.

タイトルに関連する用語 (8件)： マイクロマシニング ,  超音波顕微鏡 ,  シリコン ,  音響レンズ ,  開発 ,  室温 ,  観察 ,  レンズ