アルカリ性溶液におけるシリコンと非イオン性界面活性剤との相互作用に対する温度の影響

JEON J S; RAGHAVAN S; CARREJO J P

文献

J-GLOBAL ID：200902117426144790 整理番号：96A0192585

アルカリ性溶液におけるシリコンと非イオン性界面活性剤との相互作用に対する温度の影響

Effect of Temperature on the Interaction of Silicon with Nonionic Surfactants in Alkaline Solutions.

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巻： 143 号： 1 ページ： 277-283 発行年： 1996年01月
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

シリコンウエハとポリエチレンオキシド・オクチルフェノール非イ...

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固体デバイス製造技術一般

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