交代単原子層堆積によるL1<sub>0</sub>秩序FePt合金の低温製作

SHIMA T; MORIGUCHI T; MITANI S; TAKANASHI K

文献

J-GLOBAL ID：200902117469119234 整理番号：02A0146737

交代単原子層堆積によるL1₀秩序FePt合金の低温製作

Low-temperature fabrication of L1₀ ordered FePt alloy by alternate monatomic layer deposition.

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資料名：
巻： 80 号： 2 ページ： 288-290 発行年： 2002年01月14日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

高い化学秩序が実現するプロセス温度より低い230°C以下の低温...

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金属の磁気異方性・磁気機械効果

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交代単原子層堆積によるL10秩序FePt合金の低温製作

交代単原子層堆積によるL1₀秩序FePt合金の低温製作