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J-GLOBAL ID：200902117609274626   整理番号：94A0154060

N2熱処理によりCZ-Si中に形成されるDeep Levelの経時変化

The influence of strage time on nitrogen related deep level in CZ-Si.
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著者 (4件)：
田代浩一郎

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(東京理大 基礎工)

東京理大 基礎工 について

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夫馬直樹

夫馬直樹 について

(東京理大 基礎工)

東京理大 基礎工 について

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戸木田正樹

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(東京理大 基礎工)

東京理大 基礎工 について

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高野幸男

高野幸男 について

(東京理大 基礎工)

東京理大 基礎工 について


資料名：
応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)

応用物理学会学術講演会講演予稿集 について


巻： 54th  号： 1  ページ： 180  発行年： 1993年09月 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)
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N2

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熱処理

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Si

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経時変化

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