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J-GLOBAL ID：200902117622117602   整理番号：96A0036988

円のコンピュータ計測に基づくナノメータ位置センサの設計

Design of a nanometric position sensor based on computational metrology of the circle.

著者 (3件)： PEGNA J (Rensselaer Polytechnic Inst., New York) ,  GUO C (Rensselaer Polytechnic Inst., New York) ,  HILAIRE T P (Renault Corporate R&D, Rueil Malmaison, FRA)
資料名： ASME. DE (American Society of Mechanical Engineers. Design Engineering Division)  (ASME. DE (American Society of Mechanical Engineers. Design Engineering Division))
巻： 82  ページ： 301-308  発行年： 1995年 
JST資料番号： T0457A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 標記位置センサを開発した。円状フリンジパターンをコンピュータ...

シソーラス用語： 位置センサ ,...

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分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (6件)： 円 ,  コンピュータ ,  計測 ,  ナノメータ ,  位置センサ ,  設計