1D静電容量微細加工超音波変換器アレイにおける交差結合の有限要素研究

文献

J-GLOBAL ID：200902117812479659 整理番号：03A0335204

A finite element study of cross coupling in 1-D capacitive micromachined ultrasonic transducer arrays

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資料名：
巻： 2002 号： Vol.2 ページ： 1059-1062 発行年： 2002年
JST資料番号： A0437C ISSN： 1051-0117 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

2D有限要素モデルを用い,1D静電容量微細加工超音波変換器(...

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音響変換器,その他の機器

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