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J-GLOBAL ID:200902117964071680   整理番号:93A0851229

NA and σ Optimization for High NA I-line Lithography.

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巻: 1927  号: Pt 1  ページ: 310-319  発行年: 1993年 
JST資料番号: D0943A  ISSN: 0277-786X  CODEN: PSISDG  資料種別: 会議録 (C)
発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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