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J-GLOBAL ID：200902118268553129   整理番号：98A0800707

シリコンスライダを用いた弾性表面波モータ

Surface Acoustic Wave Motor with a Silicon Slider.

著者 (5件)： 黒沢実 (東大 大学院) ,  刑部尚樹 (東大 大学院) ,  東条啓一郎 (東大 大学院) ,  高崎正也 (東大 大学院) ,  樋口俊郎 (東大 大学院)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 98  号： 163(CPM98 48-58)  ページ： 55-62  発行年： 1998年07月03日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 駆動表面を微細加工したシリコンスライダを用いることにより,微...

シソーラス用語： *超音波モータ ,...
準シソーラス用語： スライダ

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分類 (1件)： 電動機  (NB07030U)

タイトルに関連する用語 (3件)： シリコン ,  スライダ ,  弾性表面波モータ