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J-GLOBAL ID：200902118278553194   整理番号：03A0019637

クォーツガラスモールドを用いたふっ素化ポリイミド膜の転写法

Replication of fluorinated Polyimide Film Using Quartz Glass Mold.

著者 (1件)： SHIODA T (Mitsui Chemicals, Inc., Chiba, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻： 41  号： 10A  ページ： L1126-L1129  発行年： 2002年10月01日 
JST資料番号： F0599B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： クォーツガラスモールドを利用した転写法をふっ素化ポリイミドで...

シソーラス用語： *ポリイミド ,...

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分類 (3件)： その他の成形  (YH04090Q) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H)

引用文献 (10件)：

• 1) S. Lehmacher and A. Neyer: Electron. Lett. 36 (1997) 1052.
• 2) H.-D. Bauer, W. Ehrfeld, M. Harder, T. Paatzsch, M. Poopp and I. Smaglinski: Synth. Met. 115 (2000) 13.
• 3) T. Shioda: Jpn. J. Appl. Phys. 41 (2002) 1379.
• 4) J. Kobayashi, T. Matsuura, Y. Hida, S. Sasaki and T. Maruno: J. Lightwave Technol. 16 (1998) 1024.
• 5) J. Kobayashi, T. Matsuura, S. Sasaki and T. Maruno: Appl. Opt. 37 (1998) 1032.

タイトルに関連する用語 (3件)： ふっ素化 ,  ポリイミド膜 ,  転写