電子ビーム観察用の検査パッドの自動配置

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J-GLOBAL ID：200902118358605772 整理番号：97A0955180

Automated placement of testing pads for electron-beam observation.

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資料名：
巻： 37 号： 10/11 ページ： 1565-1568 発行年： 1997年10月
JST資料番号： C0530A ISSN： 0026-2714 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

多層金属層からなるLSIの電子ビーム検査の観察性を改善するた...

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固体デバイス計測・試験・信頼性

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