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J-GLOBAL ID：200902118435420284   整理番号：02A0318711

SOI基板上マイクロヒータを用いた超小型熱分析センサ

著者 (3件)： 古谷充宏 (東北学院大) ,  藤原茂美 (東北学院大) ,  木村光照 (東北学院大)
資料名： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 122-E  号： 4  ページ： 207-211  発行年： 2002年04月01日 
JST資料番号： L3098A  ISSN： 1341-8939  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： SOI基盤を用いたヒータ部がダイアフラム状になっている,ダイ...

シソーラス用語： *温度センサ ,...
準シソーラス用語： 熱分析センサ ,...

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分類 (1件)： 熱量測定,熱量計  (AD06030G)

引用文献 (6件)：

• 高橋清. アドバンストセンサハンドブック. 1994, 235-295
• HAYASAKA, J. Thermal Analyser with an Air-Bride Type Microheater. TECHNICAL DIGEST OF 15^<TH> SENSOR SYMPOSIUM. 1997, 63-66
• 早坂淳一. マイクロエアブリッジヒータを用いた超小型熱分析デバイスとその新しい加熱速度曲線の導出法. 電気学会論文誌E. 1999, 119, 119-124
• 早坂淳一. 超小型熱分析システムの検討. 電気学会E部門物理センサ研究会資料. 1998, PS-98, 2, 7-12
• 古谷充宏. シリコンマイクロマシーニングによる超小型熱分析センサの検討. フィジカルセンサ研究会資料. 2000, PHS-00, 1, 1-4

タイトルに関連する用語 (3件)： SOI基板 ,  マイクロヒータ ,  熱分析