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J-GLOBAL ID：200902118523756640   整理番号：99A0141323

金属酸化物薄膜の成長機構解明のための課題

Some problems for understanding the growth mechanism in thin films of metal oxides.

著者 (2件)： 馬来国弼 (横浜市大 理) ,  小川浩二 (横浜市大 理)
資料名： 応用物理  (JSAP International)
巻： 67  号： 12  ページ： 1383-1389  発行年： 1998年12月 
JST資料番号： F0252A  ISSN： 0369-8009  CODEN： OYBSA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 金属酸化物薄膜の成長は,真空中あるいは基板および成長層表面上...

シソーラス用語： *エピタクシー ,...

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分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

引用文献 (35件)：

• 1) 本庄五郎,八木克道;薄膜・微粒子の構造と物性,金属物性基礎講座, 14巻 p. 25 (丸善, 1974).
• 2) J. A. Venables, G. D. T. Spiller and Hanbucken: Rep. Prog. Phys. 47, 399 (1984).
• 3) 贋村誠男;日本結晶成長学会誌 23, 324 (1996), 前網康二:表薗 31, 698 (1993). F. E. Ejeckam, Y. H. Lo, S. Subramanian, H. Q. Hou and B. E. Hammons: Appl. Phys. Lett. 70, 1685 (1997).
• 4) 宮澤信太郎,向田畠志;応用物理 64, 1097 (1995). 向田昌志;固体物理 32, 663 (1997).
• 5) 川崎雅司,高橋和浩,鯉沼秀臣;応用物理 64, 1124 (1995).

タイトルに関連する用語 (2件)： 金属酸化物薄膜 ,  成長