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J-GLOBAL ID：200902118983530489   整理番号：93A0481347

よりよい高温超伝導試料を作製するために 微細加工

Microfabrication using dry etching.

著者 (1件)： 佐藤弘 (電総研)
資料名： 応用物理  (JSAP International)
巻： 62  号： 5  ページ： 487-488  発行年： 1993年05月 
JST資料番号： F0252A  ISSN： 0369-8009  CODEN： OYBSA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 高温超伝導体積層型素子作製のために,エッチング損傷抑止を目的...

シソーラス用語： 高温超伝導体 ,...

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分類 (2件)： Josephson接合・素子  (BM04043E) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

引用文献 (7件)：

• 1) I. Zaquine, G. B. Assayag, B. Desser. tenne, B. Marcihac, M. Mercandalli and J. C. Mage: J. Appl. Phys. 72, 270 (1992).
• 2) M. R. Poor and C. B. Fleddermann: J. Appl. Phys. 70, 7640 (1991).
• 3) A. F. Hebard, R. M. Fleming,, K. T. Short, A. E. White, C. E. Rice, A. F. J. Levi and R. H. Eick: Appl. Phys. Lett. 55, 1915 (1989).
• 4) A. Braginski: 超伝導ニュース(応用物理学会), No. 6, 95 (1991).
• 5) H. Sato, H. Akoh, K. Nishihara, M. Aoyagi and S. Takada: Jpn. J. Appl. Phys. 31, 1044 (1992).

タイトルに関連する用語 (4件)： 高温超伝導 ,  試料 ,  作製 ,  微細加工