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J-GLOBAL ID:200902119403402469   整理番号:96A0780326

メタノール溶液の電気分解によるダイヤモンド状炭素膜の堆積

Deposition of diamond-like carbon films by electrolysis of methanol solution.
著者 (7件):
資料名:
巻: 69  号:ページ: 1074-1076  発行年: 1996年08月19日 
JST資料番号: H0613A  ISSN: 0003-6951  CODEN: APPLAB  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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メタノール溶液の電気分解によって60°C以下の温度でシリコン上...
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分類 (1件):
分類
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半導体薄膜 
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