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J-GLOBAL ID:200902119782941045   整理番号:99A0419999

25nmチャネル長世代におけるダブルゲート,接地平面と単一ゲート超薄SOI MOSFETのためのデバイス設計考察

Device Design Considerations for Double-Gate, Ground-Plane, and Single-Gated Ultra-Thin SOI MOSFET’s at the 25nm Channel Length Generation.
著者 (3件):
資料名:
巻: 1998  ページ: 407-410  発行年: 1998年 
JST資料番号: C0829B  ISSN: 0163-1918  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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分類 (3件):
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
固体デバイス製造技術一般  ,  金属-絶縁体-半導体構造  ,  計算機シミュレーション 

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