SEINO T について
Hitachi, Ltd., Ibaraki, JPN について
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Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films について
アルミナ について
酸化物薄膜 について
誘電体一般 について
固体の機械的性質一般 について
反応性 について
パルス について
DCマグネトロンスパッタリング について
低圧力 について
堆積 について
酸化 について
アルミニウム膜 について