GaN中へのBe+OとMg+Oの同時注入

KENT D G; OVERBERG M E; PEARTON S J

文献

J-GLOBAL ID：200902120032159190 整理番号：01A1027362

GaN中へのBe+OとMg+Oの同時注入

Co-implantation of Be+O and Mg+O into GaN.

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巻： 90 号： 8 ページ： 3750-3753 発行年： 2001年10月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

ドナー対アクセプタ比を0.5~2の範囲で制御したGaN中へB...

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半導体の放射線による構造と物性の変化

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