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J-GLOBAL ID：200902120128423343   整理番号：93A1001653

Xe+重イオン衝撃を用いたSAWおよびSTW共振器の正確な周波数トリミング

Precision Frequency Trimming of SAW and STW Resonators Using Xe+ Heavy Ion Bombardment.
著者 (2件)：
ALIEV V SH

ALIEV V SH について

(Inst. Semiconductor Physics, Rus. Acad. of Sci., Novosibirsk, SUN)

Inst. Semiconductor Physics, Rus. Acad. of Sci., Novosibirsk, SUN について

, 
AVRAMOV I

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(Inst. Solid State Physics, Bulgarian Acad. of Sci., Sofia, BGR)

Inst. Solid State Physics, Bulgarian Acad. of Sci., Sofia, BGR について


資料名：
Proceedings of the IEEE International Frequency Control Symposium  (Proceedings of the IEEE International Frequency Control Symposium)

Proceedings of the IEEE International Frequency Control Symposium について


巻： 47th  ページ： 582-586  発行年： 1993年 
JST資料番号： C0958A  ISSN： 1075-6787  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
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Kaufman型イオン源により初めは大まかに,次には1ppm...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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弾性表面波素子

弾性表面波素子 について

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分類 (1件)：
分類
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共振器 
(NC04050Y)

共振器 について

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衝撃

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SAW

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共振器

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